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研磨拋光液的用途和優(yōu)點(diǎn)

來(lái)源：www.adiri-baby.com  |  發(fā)布時(shí)間：2023年01月02日
  在半導(dǎo)體加工過(guò)程中，研磨鈰基拋光液無(wú)疑是一項(xiàng)重要的技術(shù)。主要用于半導(dǎo)體表面加工，研磨液和拋光液是影響半導(dǎo)體表面質(zhì)量的重要因素。

  研磨是半導(dǎo)體加工中的一個(gè)重要過(guò)程。研磨是利用化學(xué)研磨溶液與研磨料混合加工半導(dǎo)體表面，使其成為精密儀器的過(guò)程。需要指出的是，化學(xué)研磨過(guò)程幾乎包括半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的每個(gè)環(huán)節(jié)，使研磨和拋光液成為影響半導(dǎo)體表面成功的重要因素。


鈰基拋光液


  事實(shí)上，常見的拋光液有很多種，不同的拋光液有不同的性質(zhì)和功能。氧化鋁磨料流體具有多種特性，在選擇過(guò)程中可以選擇效果不同的氧化鋁磨料流體，研磨速度快，可以節(jié)省研磨時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，效果好，表面光滑。金剛石研磨液是一種常見的液體，需要加油或加水稀釋，但其優(yōu)點(diǎn)也很突出，效果明顯，方便，沒有污染，無(wú)腐蝕。金剛石顆粒硬度好，粒度均勻，研磨效果也很好。藍(lán)寶石研磨液用于研磨和稀釋藍(lán)寶石襯底。在研磨和拋光過(guò)程中，保持高切割效率，不易劃傷工件。

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